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雷 射 微影
...微影技術,達到量產目的,在壓印過程中所使用之奈米模具扮演著關鍵角色。一般用來製作奈米模具的方式有許多種,如光學微影、電子束微影等技術,而其中雷射干涉微影技術 ...,本研究提出利用雷射干涉微影(LaserInterferenceLithography)進行NPSS之圖案定義,其中雷...
熱寫微影設備與製程技術
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技術簡介.熱寫微影系統搭配超解析熱寫微影製程可有效突破光學微影之繞射極限大幅縮小雷射曝光光點,並可以低成本製程加工出功能性奈米級圖案,已供不同領域之應用 ...
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